鍍膜玻璃生產(chǎn)技術(shù)目前我國實(shí)際生產(chǎn)當(dāng)中，幾乎所有鍍膜膜方法都可以生產(chǎn)陽光控制鍍膜玻璃，以其他如真空蒸鍍法、主要以在線CVD工藝方法和磁控濺射工藝方法兩種為主，這主要介紹采用在線CVD工藝生產(chǎn)硅質(zhì)膜玻璃。

　　鍍膜玻璃生產(chǎn)原理

　　在線CVD制備硅質(zhì)膜技術(shù)是以硅烷、乙烯為原料，浮法錫槽為制備硅質(zhì)膜提供了適合的溫度和還原性氣氛。硅烷、乙烯和氮?dú)獍匆欢ǖ谋壤M(jìn)人安置在玻璃板上面的反應(yīng)器，并以穩(wěn)定的層流方式流過玻璃板表面，這時，硅烷借助反應(yīng)器的特殊結(jié)構(gòu)，并在還原氣氛的條件下，溫度超過400C時開始分解，形成的產(chǎn)物是無定形硅，當(dāng)溫度超過600C時，形成多晶硅。多晶硅沉積在玻璃表面形成硅質(zhì)膜層，同時硅烷反應(yīng)后產(chǎn)生的氫被乙烯吸附，生成乙烷和甲烷。這些多余氣體和呈褐色的多余硅質(zhì)粉一起從反應(yīng)器兩側(cè)的排氣孔排走